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簡(jiǎn)要描述:CVD鉆石培育配套氫氣發(fā)生器憑借著(zhù)在氣體分析、生成和校準領(lǐng)域擁有三十年的經(jīng)驗,使我們能夠成立Leman Instruments SAS,這是一家專(zhuān)門(mén)從事固體、液體和氣體分析所涉及的科學(xué)設備模塊研發(fā),生產(chǎn)和銷(xiāo)售的公司。公司主要生產(chǎn)地位于法國阿爾尚地區。主要產(chǎn)品包括實(shí)驗室氮氣發(fā)生器,氫氣發(fā)生器,氧氣發(fā)生器,零級空氣發(fā)生器等。
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CVD鉆石培育配套氫氣發(fā)生器
憑借著(zhù)在氣體分析、生成和校準領(lǐng)域擁有三十年的經(jīng)驗,使我們能夠成立Leman Instruments SAS,這是一家專(zhuān)門(mén)從事固體、液體和氣體分析所涉及的科學(xué)設備模塊研發(fā),生產(chǎn)和銷(xiāo)售的公司。公司主要生產(chǎn)地位于法國阿爾尚地區。主要產(chǎn)品包括實(shí)驗室氮氣發(fā)生器,氫氣發(fā)生器,氧氣發(fā)生器,零級空氣發(fā)生器等。
百瑞科技(南京)有限公司是一家專(zhuān)注于為醫療實(shí)驗室等領(lǐng)域提供各類(lèi)氣體發(fā)生器(包括氮氣發(fā)生器,氫氣發(fā)生器,零級空氣發(fā)生器等),真空泵以及壓縮空氣成套設備解決方案的企業(yè)。公司先后與ekom醫療實(shí)驗室壓縮機生產(chǎn)商,意大利Werther,奧地利Metasys牙科設備制造商,以及丹麥flairmo,德國INMATEC,俄羅斯GRASYS,法國Leman Instruments等國外實(shí)驗室氣體發(fā)生器廠(chǎng)商機氣體分離系統廠(chǎng)商達成戰略合作協(xié)議。公司代理銷(xiāo)售的氣體發(fā)生器,氮氣發(fā)生器,氫氣發(fā)生器,零級空氣發(fā)生氣,牙科正負壓系統,空壓機成套設備以及后處理設備均滿(mǎn)足各種環(huán)境下的嚴苛需求,產(chǎn)品廣泛應用于石化,制藥,電子行業(yè)、以及各類(lèi)實(shí)驗室等。產(chǎn)品包括ekom dk50系列無(wú)油空壓機,metasys hybrid系列牙科負壓抽吸泵,flairmo實(shí)驗室氮氣發(fā)生器等等,廣泛用于醫院,實(shí)驗室,食品行業(yè)等。
在CVD的工藝中,需要一種穩定可靠的方法來(lái)供應超高純度的氫氣。
使用氫氣發(fā)生器代替鋼瓶或其他方式運輸的氫氣可避免在鉆石合成過(guò)程中氫氣突然耗盡的問(wèn)題,并且氫氣發(fā)生器還具有更多的安全優(yōu)勢,同時(shí)可以幫客戶(hù)節省長(cháng)期的用氣成本。
氫氣鋼瓶中的氫氣的含水量高于CVD工藝所要求的數值。因此,氫氣鋼瓶中的氫氣需要進(jìn)一步干燥才可使用,常用的方法是使用鈀凈化器。
我們可以把鈀凈化器看作是一種非滲透膜,上面只能吸附和解吸氫離子。那么只要非滲透膜完好無(wú)損,系統中沒(méi)有任何泄漏,氫氣的純度就可以得到保證。因此需要定期測試鈀膜完整性,常用的方法是使用高真空,并檢查真空狀態(tài)是否可保持,或用氦氣對系統加壓以檢查泄漏。
但當使用鈀膜凈化氫氣時(shí),需要關(guān)注到的一個(gè)問(wèn)題是“氫脆"。在某些條件下,留在金屬中的氫離子會(huì )導致鈀脆裂。這是進(jìn)行真空泄漏測試或氦氣加壓測試的主要原因之一。同時(shí),保持真空可去除鈀中吸收的氫離子,以避免氫脆。
若不使用鈀膜凈化,其他的干燥技術(shù)同樣也可以產(chǎn)生超高純度的氫氣,例如,Leman Instruments 氫氣發(fā)生器采用PSA凈化技術(shù)生產(chǎn)的超高純氫氣,具有ppb水平含量的微量氧氣和水分,而不存在“氫脆"對鈀凈化器造成損害這樣的風(fēng)險,避免了因為鈀膜損壞而導致的高昂的維護費用。
當然,PSA凈化技術(shù)也不需要進(jìn)行真空泄漏測試,因為PSA技術(shù)相對于鈀凈化器來(lái)說(shuō)是一種“滲透膜",因此真空測試并不適用,若進(jìn)行真空測試,則可能會(huì )失敗,用戶(hù)可能需要更改其驗證方法。然而,明顯的優(yōu)勢是,PSA通常具有更高的可靠性,若發(fā)生故障,PSA凈化技術(shù)的維修成本也更低。
結論
PSA凈化技術(shù)可應用到發(fā)生器中為CVD工藝提供超高純度氫氣,從而避免使用鈀膜凈化技術(shù)的缺點(diǎn)。
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